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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "魏大欽".ccommittee (精準) and year="94"


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    使用矽烷偶合劑及辛氟甲苯為原料之電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 李坤翰   指導教授： 洪儒生
    • 本論文的長膜實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲苯(C7F8)為原料先驅物，藉由傳統平板式電漿輔助化學氣相沉積系統來成長低介…
    • 點閱：469  下載：2 

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    以不同氮源先驅物氣相磊晶氮化鋁薄膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 林松禾   指導教授： 洪儒生
    • 本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法，探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先，單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下，會成長出以碳化鋁(…
    • 點閱：374  下載：3 

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    以二乙基一氯鎵為鎵源先驅物的氮化鎵原子層磊晶之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 林繼宏   指導教授： 洪儒生
    • 本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料，並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材，…
    • 點閱：274  下載：0 
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